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平成16年度  研究課題外部評価報告書(事前、中間、事後、追跡
研究テーマ名  ニオブ酸リチウムの反応性イオンエッチングに関する基礎研究
研究実施期間 平成15年度
研究概要  本研究は、平成13〜14年度即効型地域新生コンソーシアム研究開発事業(光集積デバイス用反応性イオンエッチング装置の研究開発)のフォローアップ研究として実施したものである。研究内容は、光通信素子や超音波デバイスメーカーでの微細加工に特定したエッチング装置の新規市場展開を目的として、試作装置の改造とエッチングプロセスの確立に取り組んだものである。
 具体的には、平成14年度に独自開発した電子サイクロトロン共鳴(ECR)型反応性イオンエッチング装置の改造と、ニオブ酸リチウム(以下LN)、タンタル酸リチウム(以下LT)の反応性イオンエッチングプロセスの確立を図った。
評価項目* 目標の達成度 研究成果の有用性 地域への貢献度・波及効果     合 計
  5 5 4     14
3 4 4     11
4 5 5     14
4 3 3     10
4 3 3     10
4 4 5     13
4 4 4     12
4 4 4     12
委員平均 4.0 4.0 4.0     12.0
委員のコメント
・有用性の高い課題であり、当初の目標もほぼ達成されたと考えられる。
 競争力ある技術か不明。
・目標の達成度は殆ど最上位にあるかと思われます。後は本装置製造メーカーとの連携による商品としての性能向上・経済上の低廉化を図ってゆくべきでしょう。また、ユーザーへの積極的な売り込みが必要かと考えられます。
 ECRを用いた新しいドライエッチング装置を開発したもので、有用な成果が出ている。開発した装置が売れることを期待しているが、まずは実験機としての販売が最初であろう。エッチング装置や堆積装置は種々の技術・手法により開発競争を行っている分野で、従来品と競争して量産機としての市場を獲得するには、タクト時間の短縮など、これからの開発努力が必要であると予想される。
 目標はほぼ達成しており、基本的な技術は完成に近いと判断される。ユーザーの要求に向けて更に改良を進められたい。
 なお、タイトルは基礎研究となっており、研究を学術的な観点からも進められることを提言する。
 プロジェクトで実施した研究開発のフォローアップ研究として、デバイス企業からの要求仕様をほぼ達成できている。また、研究成果は展示会などでも公開され、企業からの問い合わせも多いことから、今後とも研究成果は十分に活用されると期待される。
・成果は一部を除き目標に達していると考えられる。
・メーカーの実際のニーズにうまく応える研究として評価でき、直ちに実際のビジネスにつながっている点を一般に広く広報することが望まれる。
 装置の完成実用はいつごろか
 どれ位売れる見込みか
*評価項目の評価基準は5(適切)・4・3(妥当)・2・1(不適切)の5段階評価
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